Xensor Integration热导率传感器产品线

Xensor Integration是一家高科技公司，专注于使用计算机芯片技术制造MEMS传感器（微机电系统）的定制设计、原型设计和生产。Xensor拥有一系列现成的标准MEMS热导率气体敏感元件和气体传感器。经典的XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件和XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。该传感器基于环境气体的热导率测量，使用经验证的热导率传感器XEN-3880。XEN-3880和XEN-5320应用包括皮拉尼真空计、气体扩散率的检测以及氢气等二元气体成分的测量。

XEN-5320热导率气体传感器特征

• 二元和准二元混合物中气体的长期稳定分析
• 快速响应和数据更新率
• 高灵敏度和分辨率
• 使用寿命长，维护成本低
• 流量效应补偿设计
• 温度和湿度校正输出
• 允许用户调零和满程校准
• 用户可配置的输出校准曲线
• LabView读取和编程软件
• 通过USB、CAN或模拟输出读取
• 符合RoHS
• CE和FCC认证

  

一、Xensor公司XEN-5320热导率气体传感器特征

1、XEN-5320-ALU-CAN气体传感器：非常适合具有多个测量点且需要易于放置传感器的安装。CAN总线可确保在使用多个设备时降低布线和安装灵活性。

2、XEN-5320-ALU-USB气体传感器：适用于具有少量测量点和评估测试目的的装置。USB和模拟接口可以确保MEMS传感器快速设置，无需额外的附件。

3、Xensor Integration公司XEN-85030气体传感器:帮助用户使用参考气体进行校准，并放置远程气体传感。通气孔与铝外壳兼容。

4、XEN-5320-HP-CAN耐压力气体传感器：适用于具有G3/8 BSPP安装螺纹的高压环境和安装。CAN总线可确保在使用多个传感器时降低布线和安装灵活性。

5、XEN-5320-HP-USB-ANA耐压力气体传感器：适用于具有少量测量点和评估目的的安装。USB和模拟接口可以确保快速设置，无需额外的附件。

二、Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件

XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件测量流经其表面周围气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用于测量真空系统中的压力。热导率敏感元件芯片由具有氮化硅膜（SiN）的硅框架组成，其中心是一个加热器，由一个热电堆传感器阵列测量其温度，敏感芯片测量环境气体和膜中心之间的热导率。薄膜顶部的硅盖（Roof）和带过滤器金属筛网的焊接盖（W）抑制了气流流量敏感性。

1、XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件特征
•二元和准二元混合物中气体的长期稳定分析
•高灵敏度和分辨率
•工作温度：-250°C至150°C
•湿度：0至95%RH，无冷凝
•使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件进行温度测量
•流量灵敏度可忽略不计
•环境温度22°C和1 V电源

2、XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件区别：

2.1、XEN-3880-P2RW和XEN-3880-3RW热导敏感元件：

2.1.1、XEN-3880敏感元件，带硅盖（Roof），单膜，PT100或PT1000温度元件，带5um金层的10针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽
2.1.2、XEN-3880-RW：XEN-3880传感器元件，带硅盖（Roof），单膜，带+/-0.8 um金层的6针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽
2.2、XEN-3920-P2RW和XEN-3920-P3RW热导率敏感元件：
2.2.1、XEN-3920感应元件，带硅盖（Roof），双膜，PT100或PT1000温度元件，带5um金层的10针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽

Xensor提供了两种类型的纳米量热计芯片，一种是基于较厚的单晶硅膜，另一种是以薄氮化硅膜为基础。前一种类型具有较低的隔热性，但非常坚固，非常适合用于液体和慢速应用（XEN-LCM2506、XEN-LCMquad、XEN-NCM9924）。它们在“Nano-cals”文件中有描述。

基于约1μm的厚度SiN膜的类型在本文件中进行了描述。它们很脆弱，但隔离性很好，速度很快，因此更适合应用于气体环境和快速测量，如快速扫描量热法。本文件中描述的所有芯片的外部尺寸均为3.33 x2.50毫米，厚度0.3毫米，XEN-39397除外，其尺寸为5.0×3.3毫米。

Xensor Integration公司XEN-39390热量计|量热计敏感元件简要技术参数

然而，为了不破坏高热阻，热电堆阵列温度传感器在1-5 mV/K的这些器件中通常不太敏感。因此，在空气中的总体灵敏度为10-100V/W的数量级，比硅膜芯片高大约一个数量级。下面我们将首先给出一些关于薄膜量热计芯片和快速扫描量热计的背景信息。然后，我们将提供各种可用设备的技术数据，并提供设备的照片和一些细节。