Pirani皮拉尼真空规背后的故事

Pirani皮拉尼真空规背后的故事

——Marcello Pirani：真空测量的英雄

皮拉尼进一步从事高温的光学测量工作，然后于1919年加入奥斯拉姆，担任科学技术局局长。在那里，他广泛研究了从钽对气体的吸附到从白炽灯到气体放电灯的转变等主题。在工业界任职期间，他曾在柏林的技术大学和Technishe Hochschule担任过多个职位。从1936年起，皮拉尼在英国从事各种活动，从耐高温材料到细煤尘的利用。1953年，他回到德国，为奥斯拉姆咨询，在他出生的城市去世，享年88岁。

皮拉尼真空传感器广泛应用于各种真空技术领域，真空系统用于各种应用，包括半导体制造、研究实验室和真空封装。热导率传感器在低压环境中特别有效。包括：

• ‌高真空泵的前级压力测量‌：如光伏、镀膜、等离子行业‌。
• ‌中低真空测量‌：如照明、冶金行业‌。
• ‌真空连锁控制‌：如高真空计的点火开关控制‌。
• 半导体制造，在半导体制造中，保持高质量的真空对于薄膜沉积和蚀刻等工艺至关重要。热导真空传感器可准确测量真空室中的残余气体，确保很佳的生产条件。通过监测气体浓度，制造商可以防止半导体器件中的污染和缺陷。
  
• 科学研究，在研究实验室中，热导率传感器用于测量需要受控环境的实验中的真空度。例如，在涉及高能物理或材料科学的研究中，准确的真空条件对于获得可靠的结果是必要的。这些传感器帮助研究人员保持所需的真空度，并监测可能影响他们实验的任何波动。
  
• 真空包装，在食品和包装行业，热导率传感器用于真空包装系统，以确保达到所需的真空水平。通过测量包装室中气体的导热系数，这些传感器有助于保持食品的新鲜度和保质期。
  

TCD-5880皮拉尼真空规传感器

TCD-5880真空传感器对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量。这是通过使用加热器电阻器加热膜的中心来实现的。由此产生的中心温度升高通过热电堆来测量。实际温度升高取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这受到环境气体热阻的影响。TCD-5880真空传感器安装在6引脚TO-5上金属基座上。

TCD-5880皮拉尼真空计传感器技术参数

@环境温度22°C和1 V电源
尺寸：敏感元件尺寸（mm3)：2.50 x 3.33 x 0.3
尺寸：TO-5晶体管基座（mm2)：9Фx 6
针脚长度（mm）：13.5
TO-5重量（g）：0.71
TO-5+带筛网金属帽+过滤器的重量（g）：1.05
输出
在<1 mPa（V/W）的真空中：130
在100 kPa（V/W）的空气中：30
在10 MPa（V/W）的空气中：26
在氦气中，100 kPa（V/W）：7
在氦气中，10 MPa（V/W）：6.9
时间常数
空气中（ms）：9
在真空中（ms）：36
稳定性
短期，1天（ppm）：1
长期，1年（ppm）：100
热阻
膜（kK/W）：100
膜+空气（kK/W）23
Max.加热电压
空气中（V）：2.5
真空（V）1