大气数据测试仪中压力传感器的原理

大气数据测试仪中压力传感器的原理

    ADTS405F大气数据测试系统    ADTS542F大气数据测试仪      ADTS552F动静压测试仪 

目前全世界范围内，在市场上有多家公司生产和销售大气数据测试仪和动静压测试仪。动静压测试仪和大气数据测试仪和内部所使用的压力传感器可以分为：沟槽刻蚀硅谐振压力传感器（TERPS）、石英谐振压力传感器、振筒式压力传感器和MEMS硅压阻传感器。我们下面就对这几种原理传感器的大气数据测试仪的精度和漂移进行一个简单的总结。

一、沟槽刻蚀硅谐振和石英谐振压力传感器的大气数据测试仪

目前世界上只有2-3家公司掌握这种高精度压力传感器技术。压力传感器的精度为0.01%FS，年漂移为0.005%左右。此大气数据测试仪能够满足*新的RVSM标准，普遍为用户接受的航空地面支持设备。

二、振筒式压力传感器的大气数据测试仪

许多公司都能够生产出振筒式压力传感器，精度为0.01%FS,年漂移也为0.005%左右，传感器时间越长，性能月稳定。但是振筒式压力传感器的大气数据测试仪有内在无法克服的缺陷。

1.由振筒压力传感器原理可知，它本身不直接测量压力（压强），实际上是一只“密度”传感器。介质密度对压力的测量有很大的影响，振筒压力传感器对介质密度很敏感，空气、合成空气、氮气或湿空气介质对压力测量都有影响。

2.此原理的压力传感器需要用湿度传感器来做补偿，但湿度传感器也有漂移，需要定期校准。

三、MEMS硅压阻压力传感器的大气数据测试仪

MEMS硅压阻压力传感器可以批量制造，成本相对较低。其精度一般在0.05%FS，年漂移为0.025%左右。硅压阻压力传感器的大气数据测试仪在1年的内时间内很难满足RVSM标准。