沟槽刻蚀谐振式压力传感器在大气数据测试仪中应用

沟槽刻蚀谐振式压力传感器在大气数据测试仪中应用

沟槽刻蚀谐振式压力传感器(TERPS)技术，是德鲁克DRUCK半个世纪以来所研发的**技术的代表。其融合了***的设计、制造及封装工艺，相比于上一代硅谐振技术（RPT系列），包括谐振器设计在内的各项设计均进行了不同程度的优化，从而使其在更宽的温度区间内具备了±0.01%FS的全温精度及±0.01%FS/年的长期稳定性。一般来说，采用数字补偿技术的**工业级压力传感器能在-20℃至80℃的补偿温度范围内达到±0.1%FS的精度。而TERPS则实现了1个数量级的性能提升。TERPS技术除了高精度之外，其优越的长期稳定性和可靠性使其在与其他气压测量器件的竞争中具备更好的维护成本优势。

沟槽刻蚀谐振式压力传感器显著提高与传统谐振压力技术相关的压力测试范围的能力的同时，提供10倍于现有的压阻式压力传感器的精度和稳定性。沟槽刻蚀谐振式(TERPS)压力传感器是在对现有硅谐振压力传感器的设计和制造过程进行深入的研发结果，它在从航空航天到海洋工程,海底勘探作业，从过程工艺到工业仪器设备等领域得到广泛应用。

大气数据测试仪是飞机维护、修理、定检和航空飞行器研制过程中进行动静压测试的必需工具。通过在地面模拟飞机在空中飞行的空速、真空速、高度、马赫、爬升率、静压、动压等跟大气系统相关的参数，核查和校准飞机仪表的准确性，提高飞行**性。德鲁克DRUCK生产的ADTS542F，ADTS552F和ADTS553F大气数据测试仪内内都采用沟槽刻蚀谐振式压力传感器(TERPS)作为高度传感器和空速传感器，他们都满足度符合*新的RVSM (缩小航道间距)规程，Pt总压传感器和Ps静压传感器精度指标在12个月内优于0.1mbar ,减少用户的送检时间和费用。