SF6传感器测试数据

日期：2025-05-01 14:40

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摘要：众所周知，采用非分散红外（NDIR）原理的SF6纯度传感器由于信号饱和，SF6浓度在90%以上时，具有很大的波动性，红外原理的传感器测试SF6气体纯度可靠性和重复差，无法满足高压开关内六氟化硫纯度测试的要求。TCD-SF6热导式传感器是采用MEMS技术设计的一款SF6气体纯度传感器。它通过直接测量气体热导率方式运行，无需参考气。SF6纯度传感器具有测量范围广0-100%Vol.，配置灵活等优势，采用恒温气室设计，可在-40℃~+50℃下保证测量准确度和重复性，且波动性很小。SF6纯度传感器可选高精度压力补偿功能，在0-1MPa压力范围内提供±2%FS的补偿精度。 2、SF6传感器|六氟化硫纯度传感器产品特点：恒温气室设计长达10年的使用寿命 0-1MPa的压力补偿范...

SF6传感器测试数据

众所周知，采用非分散红外（NDIR）原理的SF6纯度传感器由于信号饱和，SF6浓度在90%以上时，具有很大的波动性，红外原理的传感器测试SF6气体纯度可靠性和重复差，无法满足高压开关内六氟化硫纯度测试的要求。TCD-SF6系列热导式气体传感器是采用MEMS技术设计的一款SF6纯度气体传感器。通过直接测量气体热导率方式运行，无需参考气。SF6传感器具有测量范围广0-100%Vol.。SF6传感器配置灵活等优势，采

采用非分散红外（NDIR）原理的六氟化硫纯度传感器测量SF6浓度在95%以上时，由于信号趋于饱和，数值具有很大的波动性，同时重复差，无法满足高压开关内六氟化硫纯度高精度测试的要求。SF6-100热导式传感器是采用MEMS技术设计的一款SF6气体纯度传感器，通过直接测量气体热导率方式运行，内部没有加热灯丝，也不需要参考气。SF6-100传感器没有采用传统的大功率的恒温气室设计，而采用独特温度补偿的算法，可在-40℃~+85℃下保证测量准确度和重复性，且波动性很小。传感器同时功耗只有0.15W，是传统的热导原理传感器的1/20。SF6-100传感器同时对湿度进行修正，达到±1%FS测量精度。

SF6-100采用的专有的精密的电路设计，T90响应时间（@1000ml/分钟）非常快，只有3秒，达到读数稳定的时间T100为8秒，而传统的热导传感器需要120~150秒。SF6-100无需加热恒温的等待（至少30分钟加热时间），从开机到测量工作结束大约需要在2分钟内完成，极大地提高了测量效率。SF6-100的体积小、低功耗和重量轻（约150g）的特点，非常适合集成便携式SF6仪表内。

一、低功耗快速响应SF6传感器产品优点

无需加热恒温等待，即插即用
低功耗，约0.15W
快速响应，约3秒(T90，@1.0L/min.)。
外形尺寸小、重量轻(150g)
温度和湿度修正补偿
同时测量六氟化硫(SF6)浓度、相对湿度（RH）和温度三个参数
0.5~2.5VDC和5V TTL输出
-40~+85℃宽的工作温度范围
长达10+年的使用寿命
精度高，重复性好，波动小，适合纯度测量

低功耗快速响应SF6传感器T90和T100响应时间曲线：T90响应时间=3 S @1000 ml/min.; T100读数稳定时间=8 S @1000 ml/min.。

2、非分散红外（NDIR）SF6纯度传感器测量原理

用恒温气室设计，可在-40℃~+50℃下保证测量准确度。辅助可选高精度压力补偿功能，在0-1MPa压力范围内提供±2%F.S.的补偿精度。

1、SF6传感器|六氟化硫纯度传感器产品特点：

恒温气室设计
长达10年的使用寿命
0-1MPa的压力补偿范围（可选项）

2、SF6传感器测试数据：

2.1、SF6传感器示值误差(detection error)数据：

标准气体浓度值(%)	传感器示值(%)			平均值	示值误差
0	0.02	0.03	0.04	0.03	0.03
20	19.5	19.51	19.51	19.51	-0.49
49.8	49.8	49.84	49.86	49.83	0.03
79.6	79.52	79.46	79.5	79.49	-0.11
100	100.02	100.02	100.05	100.03	0.03
Max.允许误差：±1%（显示值）

2.2、SF6传感器重复性(repeatability)数据：

测次	1	2	3	4	5	6	平均值(%)	重复性(%)
测量值(79.6%SF₆)	79.53	79.5	79.46	79.51	79.52	79.5	79.50	0.03%

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