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氦气传感器有哪些测量方式?

日期:2024-04-29 02:08
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摘要:氦气传感器的测量方式有以下两种:一种:热导原理;另一种:质谱方法。氦气传感器优势: 1、功耗低,约100毫瓦 2、无需加热恒温等待,即插即用。 3、启动时间:小于0.3秒 4、快速响应(T90),约1秒 5、外形尺寸小 6、温度和湿度补偿 7、不受流量影响结构设计

氦气传感器有哪些测量方式?

 

氦气(He)是一种稀有气体,无色无味,化学性质不活泼,一般状态下很难和其他物质发生反应。氦气导热性很强、黏度极低等特殊性质。与氢气相比较,氦气的密度和热导系数是仅次于氢气。氦气都得到广泛应用在科研、石化、制冷、医疗、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、高精度焊接、光电子产品生产等。

氦气传感器的测量方式有以下两种:

第 一种:热导原理氦气传感器

由于氦气的化学稳定性极好,属于单原子分子。一般的化学和物理方法很难测试氦气的浓度,比如:电化学方法(EC),非分散红外(NDIR),催化燃烧,金属氧化物半导体(MOS)等。与氢气(H2)类似,氦气的导热系数非常大,在0℃,101.325kPa压力下为0.1426W/(m·K) ,仅次于氢气。工业上就使用热导原理来检测氦气的浓度。热导原理的氦气传感器就是利用惠斯通电桥,把的加热器和温度检测器组合在一起,形成一个热导环路。当氦气气体通过热导环路时,它会带走一定的热量,导致环路的温度发生变化。通过测量环路温度的变化,可以确定被测气体中氦气的浓度含量。

第 二种:质谱方法氦气传感器

电离出来的电子经加速进入电离室,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞,使氦分子发生电离,He →He++e 。这些离子在加速电场的作用下进入磁场,由洛伦兹力使得氦离子发生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压,可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。

TCD-He氦气传感器优势和主要技术参数


一、氦气传感器技术优势:

1、功耗低,约100毫瓦

2、无需加热恒温等待,即插即用。

3、启动时间:小于0.3秒

4、快速响应(T90),约1秒

5、外形尺寸小

6、温度和湿度补偿

7、不受流量影响结构设计

二、氦气传感器技术参数:

1、技术原理:热导原理(TCD),MEMS结构设计

2、气体:氦气(He)组成的二元气体

3、量程:1%Vol.、2%Vol.、5%Vol.、10%Vol.、25%Vol.、50%Vol.或100%Vol.

4、非线性:1.0%FS

5、响应时间(t90):小于1秒

6、短期漂移:小于100ppm

7、长期漂移:0.2%Vol./年

8、供电:5VDC

9、输出:0.5~2.5VDC

10、工作温度范围:-40~+85℃

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