BSD背散射探测器

日期：2026-10-22 08:18

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摘要： PNDetector背散射电子（BSE）探测器/BSD背散射探测器 PNDetector的BSD背散射探测器具有极低的信号电容和漏电流水平，配合高速前置放大器，可在高达100 MHz的扫描速率下实现*佳性能。 BSD背散射探测器主要特点覆盖了从0.5千电子伏到300千电子伏的广泛初级能量范围在1keV时，检测收集效率高达55%，对于高信号强度和对比度，几何收集效率高达87% 传感器电容低至3皮法/通道，可实现高速成像，并支持极低的噪声特性信号上升时间快至10纳秒高度定制灵活...

PNDetector背散射电子（BSE）探测器/BSD背散射探测器

PNDetector的BSD背散射探测器具有极低的信号电容和漏电流水平，配合高速前置放大器，可在高达100 MHz的扫描速率下实现*佳性能。黛尔特（北京）科技有限公司提供PNDetector背散射探测器BSD，请联系我们。

PNDetector公司BSD背散射探测器

BSD背散射探测器主要特点

覆盖了从0.5千电子伏到300千电子伏的广泛初级能量范围
在1keV时，检测收集效率高达55%，对于高信号强度和对比度，几何收集效率高达87%
传感器电容低至3皮法/通道，可实现高速成像，并支持极低的噪声特性
信号上升时间快至10纳秒
高度定制灵活性

一、标准BSD背散射探测器模块
标准BSD提供灵活配置，支持不同的芯片几何尺寸。它可以与我们的四通道独立前置放大器结合，作为一个整体模块（包括电子部分）使用，或者作为单个探测器模块使用。

使用PNDetector的标准BSD可获得低信号电容和漏电流。我们的BSD具有不同的芯片几何形状和有效面积，范围从40 mm²到420 mm²，是SEM极片下方固定位置设置应用的*佳选择。

标准BSD背散射探测器模块主要特点

针对您的应用优化的探测器几何结构
非磁性材料和低放气性
暗电流极低，低于1纳安
优异的几何收集效率（GCE）高达87%
专为镜头内应用设计的大有效面积尺寸
凭借我们优化的窗口（OPW），在7keV时检测收集效率（DCE）达到70%，在1keV时达到55%，同时我们还推出了新型低keV入射窗口（LKW），实现了**的检测收集效率

该前置放大器可与我们的独立四通道前置放大器结合，作为一个完整的探测器模块使用。该前置放大器尺寸紧凑，为33毫米x29毫米x5.5毫米，适用于BSD二极管周围空间有限的应用。它配备了两根柔性引线电缆，一侧连接我们的标准BSD，另一侧连接主放大器。或者，您也可以选择使用我们集成了电子元件的**模块。Overview of the different types of PNDetector’s BSD chips:

Type	Total active area	Number of segments	Number of rings	Central hole diameter	Outer Diameter	Max. Geometrical Collection efficiency	Signal capacitance per cell @ full depletion
BSD-40-4-1-10	40 mm²	4	1	1.0 mm	9 mm	50 %	3 pF
BSD-50-4-1-56	50 mm²	4	1	5.6 mm	12 mm	20 %	4 pF
BSD-80-4-1-20	80 mm²	4	1	2.0 mm	12 mm	50 %	6 pF
BSD-150-4-1-20	150 mm²	4	1	2.0 mm	16 mm	65 %	11 pF
BSD-150-4-1-50	150 mm²	4	1	5.0 mm	16 mm	45 %	10 pF
BSD-150-2-2-20	150 mm²	4	2	2.0 mm	16 mm	65 %	11 pF
BSD-420-4-1-05	420 mm²	4	1	0.5 mm	24 mm	87 %	32 pF
BSD-420-4-1-10	420 mm²	4	1	1.0 mm	24 mm	85 %	32 pF
BSD-420-4-1-20	420 mm²	4	1	2.0 mm	24 mm	74 %	31 pF
BSD-420-4-1-54	420 mm²	4	1	5.4 mm	24 mm	56 %	30 pF

二、**背散射探测器BSD模块

配备集成四通道前置放大器的先进BSD，采用不同的芯片几何结构，能够实现超越电视速度的超快成像，扫描速率高达100 MHz，且信号电容低。我们的先进BSD是即插即用安装和高吞吐量的*佳选择。

**点——超快PNDetector的**BSD模块我们将前置放大器与BSE探测器专业地集成到一个超薄外壳中，以优化您的操作速度和工作流程的便捷性。所有在标准BSD模块中描述其性能的BSE探测器均可采用此配置。

**背散射探测器BSD模块主要特点

我们已将前置放大器和BSE探测器专业集成到一个超薄外壳中，以提高操作速度并简化您的工作流程。
**模块具有固定的单增益放大功能，可在0.5keV至30keV的不同能量范围内扫描样品。
真空兼容的**超薄铝制探测器外壳有两种尺寸：紧凑型（适用于台式扫描电子显微镜）和标准型
易于使用的机械连接和热连接
前置放大器的典型增益为105 V/A，并提供不同放大因数的选项以及可切换增益配置
像素驻留时间低至10纳秒的超快成像，无拖影伪影
以*高扫描速度进行直接样本搜索
由于能量范围宽至0.5keV，信息深度得以增强
为客户量身定制的解决方案，**匹配任何SEM系统
需与PNDetector的主放大器和可伸缩臂结合使用
通过PNDetector的配置，您可以缩短扫描电子显微镜（SEM）室与室外电子设备之间的电缆长度，从而实现*高的扫描速度

选择符合您需求的几何形状。所有这些探测器也都有短外壳版本可供选择：

ADV-BSD-40-4-1-10探测器，有效面积40 mm²，4个探测段和1个环形探测器，中心孔直径1 mm
ADV-BSD-50-4-1-56探测器，有效面积50平方毫米，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径5.6毫米
ADV-BSD-80-4-1-20探测器，有效面积80平方毫米，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径2毫米
ADV-BSD-150-4-1-20探测器，有效面积150 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径2 mm
ADV-BSD-150-4-1-50探测器，有效面积150 mm²，4个扇形区域和1个环形区域，中心孔直径5 mm
ADV-BSD-150-2-2-20探测器，有效面积150 mm²，2段2环，中心孔直径2 mm
ADV-BSD-420-4-1-05探测器，有效面积420 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径0.5 mm
ADV-BSD-420-4-1-10探测器，有效面积420 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径1.0 mm
ADV-BSD-420-4-1-20探测器，有效面积420 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径2.0 mm
ADV-BSD-420-4-1-54探测器，有效面积420 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径5.4 mm

三、可切换增益**BSD背散射探测器

可切换增益**BSD让您只需使用一台设备并点击按钮，即可快速扫描样本或进行高放大率详细分析。二合一探测器——PNDetector**BSD的*新成果。PNDetector的可切换增益**BSD技术，弥合了扫描电子显微镜（SEM）中检测速度*快与低信号操作之间的差距。*先进的扫描电子显微镜（SEM）应用广泛，涵盖从高扫描速度到低信号操作的各种场景。可切换增益**BSD技术让您只需一台设备，即可在整个应用范围内实现*高图像质量的样品扫描。无需为了高增益设置而降低扫描速度，或在高速应用中牺牲低keV性能。只需简单切换这两种不同的增益设置，即可满足您的所有需求。

可切换增益**BSD主要特点

两个可切换的增益设置：高分辨率模式，增益放大率为2x10^6 V/A和高速模式，增益放大率为1x105 V/A
兼容PNDetector的BSD芯片，*大尺寸可达150平方毫米
高真空兼容
信噪比优越
高速模式：真正的电视快速导航，不降低分辨率
高分辨率模式：精细调查至0.5千电子伏
从生物科学到高信号/高通量应用，提供广泛支持
需与PNDetector的SWG主放大器以及伸缩臂配合使用

选择符合您需求的几何形状：
SWG-BSD-40-4-1-10探测器，有效面积40 mm²，4个探测段和1个环形探测器，中心孔直径1 mm
SWG-BSD-50-4-1-56探测器，有效面积50平方毫米，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径5.6毫米
SWG-BSD-80-4-1-20探测器，有效面积80 mm²，4个扇形区，1个环形区，中心孔直径2 mm
SWG-BSD-150-4-1-20探测器，有效面积150 mm²，4个扇形区和一个环形区，中心孔直径2 mm
SWG-BSD-150-4-1-50探测器，有效面积150 mm²，4个扇形区和一个环形区，中心孔直径5 mm
SWG-BSD-150-2-2-20探测器，有效面积150 mm²，2段2环，中心孔直径2 mm

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