Xensor Integration公司及产品介绍

Xensor Integration是一家总部位于荷兰的高科技MEMS传感器企业，自创立以来始终专注于以半导体芯片工艺为基础的微机电系统传感器定制设计、原型开发与规模化生产，在热传感细分领域深耕数十年，凭借独特的技术积累成为全球快速量热、高精度气体分析领域的核心供应商。Xensor Integration的发展历程充满了硬核的技术探索色彩，在上世纪80年代，由几名刚走出大学校园的技术人员从零起步创业，早期曾涉足微型气相色谱注射器、航天卫星姿态红外传感阵列、医疗氧气传感器等多个前沿项目，在不断试错中逐步收缩业务边界，将核心能力聚焦到热导率气体传感器芯片与微纳量热计两大方向，形成了自身不可替代的技术壁垒。经过数十年沉淀，Xensor建立了从芯片设计、流片制造到封装测试的全链条自研能力，既拥有覆盖主流场景的标准化传感器产品线，也支持根据客户特殊需求定制产品的功能参数、物理形态与性能指标，为不同行业的客户提供高适配性的传感解决方案。2022年起，Xensor授权RS Product Solutions负责旗下气体传感器、热导率气体敏感元件与量热计芯片的供应与后续迭代开发，依托合作方十余年的热传感领域运营经验，进一步保障了全球客户的产品交付与技术支持效率。黛尔特（北京）科技有限公司提供Xensor Integration的XEN-3880-RW热导率气体传感器，请联系我们。

Xensor Integration的核心产品体系主要分为三大类，每一类都在细分领域拥有突出的技术优势。

第 一类产品是热导式气体传感系列，以XEN-3880-RW、XEN-3920热导气体传感器敏感元件和XEN-5320智能气体传感器为核心。其中XEN-3880-RW与XEN-3920采用超薄氮化硅悬浮膜结构，将微机械加热元件与热电堆传感单元集成在硅框架上，工作温度范围覆盖-250℃至150℃，几乎可以忽略气流对测量结果的干扰，既可以作为皮拉尼真空计核心元件实现宽范围真空度检测，也能精准区分二元或准二元混合气体的热导率差异，完成氢气、氦气、甲烷等气体的浓度分析。在此基础上开发的XEN-5320-CAN和XEN-5320-USB智能传感器更是集成了自研ASIC处理芯片与温湿度补偿单元，无需额外恒温控制即可实现长期稳定的气体成分分析，响应速度快、分辨率高，还支持用户自主完成零点与增益校准，配套提供LabView读写编程工具，通过USB、CAN总线或模拟量即可完成数据读取，全系列产品均符合RoHS规范，拥有CE与FCC认证，广泛应用于氢能监测、工业气体泄漏检测、实验室气体扩散特性研究等场景，针对不同安装环境还衍生出了适配多测点布线的XEN-5320 CAN总线版本、适配实验室评估的XEN-5320 USB版本、适配XEN-5320-HP高压工况的耐压版本等细分型号。

XEN-3880-RW和XEN-3880-P2RW热导式气体传感器敏感元件：XEN-3880-RW是荷兰Xensor Integration公司生产的一款高性能热导式气体传感器芯片，具有以下特点：

• 高灵敏度： 对气体浓度变化非常敏感，能够检测到微小的压力变化。
• 高分辨率： 能够提供准确的压力测量结果。
• 宽工作温度范围： 可在-250°C~150°C的温度范围内工作。
• 宽湿度范围： 可在0~95% RH的湿度范围内工作，无冷凝现象。
• 低流量灵敏度： 对气体流速的变化不敏感，能够提供稳定的测量结果。
• 小型化设计： 体积小巧，易于集成到各种设备中。

XEN-3880-RW在皮拉尼真空计中的应用

XEN-3880-RW传感器可以用于各种皮拉尼真空计中，广泛应用于以下领域：
半导体制造： 实时监测真空腔体内的压力，确保工艺过程的稳定性和重复性。
真空镀膜： 准确控制真空度，保证薄膜的质量和性能。
材料研究： 实时监测真空系统的压力，为材料的制备和表征提供关键数据。
表面科学： 确保实验过程中的压力稳定，提高实验数据的可靠性。
航空航天： 监测真空舱内的压力，确保测试条件的准确性。
真空冶金： 准确控制炉内的真空度，提高产品质量。
真空干燥： 监测干燥过程中的压力，确保产品质量和安 全。
真空包装： 提供实时压力监测，保证包装质量。
真空检漏： 检测微小的泄漏点。

Pirani皮拉尼真空计，作为一种热导率测量仪，其工作原理基于气体热导率随压力降低而降低的特性。在Pirani真空计中，加热丝作为核心部件，被封闭在一个室内，并通过恒定电流加热。加热丝的温度升高后，其温度取决于通过传导和对流向周围气体散热的速率。当加热丝被真空或低压气体包围时，热导率降低，加热丝因此变得更热，导致测温电阻或热电偶（热电堆）变化。这种电阻变化可以通过惠斯通电桥或热电堆直接输出电压信号来准确测量，从而得出与周围气体压力相关的输出读数。
XEN-3880-RW，作为Xensor Integration公司的一款Pirani真空计传感器，其工作原理更为精细。它通过对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量来实现功能。加热器电阻器加热膜的中心，产生的温度升高通过热电堆来测量。实际温度升高的程度取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这一热阻受到环境气体热阻的直接影响。因此，XEN-3880-RW能够准确地反映出真空系统中的气体压力变化。
Pirani真空计还具有许多优点，如易于使用、经济实用、输出监控灵活等。它没有移动部件，因此能够提供多年无故障、可靠的压力测量。同时，由于其内部尺寸较小，仪表的响应速度也非常快。然而，需要注意的是，对流增强型Pirani真空计在测量过程中可能需要更大的体积来支持对流，因此响应速度可能稍慢。此外，在污染严重的系统中使用时，应采取适当的措施来延长仪表的使用寿命。

第 二类产品是微纳量热计芯片系列，以XEN-393、XEN-394两大系列为代表。这类基于微加工工艺制备的薄膜量热计传感器，核心结构是带有加热样品区的超薄氮化硅薄膜，对环境拥有极高的热阻，时间常数极小，能够实现高达1 MK/s的超高速升温与降温扫描，突破了传统量热设备的速度极限。其中XEN-393系列采用铝互连结构，适配常规温度区间的测量需求，XEN-394系列改用金互连，可支撑更宽的高温测量场景。不同子型号的样品区面积从30×30μm到1000×1000μm不等，部分型号还增加了多晶硅覆盖层优化样品区温度均匀性，特别适合快速扫描量热实验，被大量用于聚合物结晶动力学、药 物热稳定性分析、含能材料热行为研究等前沿科研领域，更是知名厂商Flash DSC快速差示扫描量热仪的核心传感部件。

除此之外，Xensor Integration还依托自身MEMS工艺积累，在低偏移霍尔传感器等方向拥有独特的技术成果，其产品凭借高可靠性、高稳定性的特点，长期服务于全球科研机构、工业设备厂商与航空航天领域客户，在小众高 端传感赛道建立了难以替代的品牌口碑。