CF4传感器技术特点

日期：2024-05-05 11:03

浏览次数：786

摘要：黛尔特公司红外四氟化碳传感器|CF4传感器技术特点四氟化碳是一种卤代烃，化学式CF4。温室气体，其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。它用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作高压开关内绝缘气体。红外四氟化碳传感器|CF4传感器用途: 四氟化碳（CF4）泄漏检测高压开关（GIS）四氟化碳浓度检测红外四氟化碳传感器|CF4传感器技术参数: 检测原理：非色散红外(NDIR) 检测量程：0~1000ppm 或10%~70%Vol. CF4（四氟化碳）采样方式：流通式响应时间（T90）：≤5 s (@0.5L/min)

黛尔特公司红外四氟化碳传感器|CF4传感器技术特点

四氟化碳是一种卤代烃，化学式CF4。温室气体，其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。它用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作高压开关内绝缘气体。将高浓度的CF4和SF6配比，例如40%vol CF4+60%vol SF6充入GIS系统，这样能够有效地降低SF6的液化温度。CF4也是惰性气体，分子量比SF6小，液化温度也远远地低于SF6，这样就能很好的保护GIS气体绝缘开关设备了。

红外四氟化碳传感器|CF4传感器用途:

四氟化碳（CF4）泄漏检测
高压开关（GIS）四氟化碳浓度检测

红外四氟化碳传感器|CF4传感器技术参数:

检测原理：非色散红外(NDIR)
检测量程：0~1000ppm 或10%~70%Vol. CF4（四氟化碳）
采样方式：流通式
响应时间（T90）：≤5 s (@0.5L/min)
回零时间：≤8 s (@0.5L/min)

检测精度：+/-10 ppm@20°C
零点温漂：+/-10 ppm (全温度范围)
分辨率：1 ppm
*低检测下限：1 ppm

供电：9-24VDC

功耗：<1 W(平均）；<1.5 W(峰值）

输出信号：TTL电平（3.3VDC）

工作温度：-20~50°C
气体湿度：0~ 85% RH(非冷凝)
推荐流量：0.3L/min ~ 0.8L/min
压力范围：50~ 200kPa绝压

10%~70%Vol. CF4传感器量程，CF4传感器技术特点：

分辨率：0.06%vol
将SF6背景气的干扰全部扣除；
精度好，常温：±1.0%，全温：±5.0%rel；
响应时间：10秒

0~2000Ppm. 四氟化碳传感器量程，CF4传感器技术特点：

分辨率：1ppm；
线性好，R^2达到0.9999；
响应时间T90时间：小于5sec，恢复时间RT90：小于10sec；
重复性好：1小时内，6次重复性，100ppm处读数极差小于3ppm；
对SF6背景气的交叉灵敏度仅为非常小。

下一篇： Rev Tach转速计|转速表
上一篇：红外硫酰氟和溴甲烷传感器在熏蒸中应用