Xensor热导率气体传感器元件

日期：2024-04-30 00:48

浏览次数：179

摘要：Xensor Integration公司热导率气体传感器元件测量周围混合气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用作Pirani压力计（皮拉尼真空计）来测量真空系统中的压力。热导率气体传感器芯片由一个带有2个氮化硅膜的硅边缘组成。XEN-3920敏感元件在每个膜的中心是一个加热器，带有测量其温度的传感器敏感元件，敏感芯片测量环境和膜中心之间的气体热导率。标准XEN-3920热导率气体传感器元件包括一个带敏感芯片的TO-5管帽头、一个位于敏感芯片上方的顶部（硅盖）以降低对气流流动效应的敏感性，以及一个焊接在TO-5外壳上的带过滤器的金属筛网。热导率敏感芯片旁边是用于环境温度测量的Pt100或Pt1000。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导率气体传感器元件

-氢气气体含量分析和Pirani皮拉尼真空计

Xensor Integration公司热导率气体传感器元件测量周围混合气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用作Pirani压力计（皮拉尼真空计）来测量真空系统中的压力。热导率气体传感器芯片由一个带有2个氮化硅膜的硅边缘组成。XEN-3880和XEN-3920敏感元件在每个膜的中心是一个加热器，带有测量其温度的传感器敏感元件，敏感芯片测量环境和膜中心之间的气体热导率。标准XEN-3920热导率气体传感器元件包括一个带敏感芯片的TO-5管帽头、一个位于敏感芯片上方的顶部（硅盖）以降低对气流流动效应的敏感性，以及一个焊接在TO-5外壳上的带过滤器的金属筛网。热导率敏感芯片旁边是用于环境温度测量的Pt100或Pt1000温度传感器。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导率气体传感器元件特征
•二元和准二元混合物中气体的长期稳定分析
•高灵敏度和分辨率
•工作温度：-250°C至150°C
•湿度：0至95%RH，无冷凝
•使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件进行温度测量
•流量灵敏度可忽略不计

Xensor Integration公司XEN-3920热导率气体传感器元件技术规范
环境温度：22°C和1 V电源

XEN-3920传感器尺寸
裸模尺寸（mm3）：2.50 x 3.33 x 0.3
尺寸TO-5集管（mm2）：9Фx 6
引脚长度（mm）：14
TO-5重量（g）：0.72
TO-5+盖子+过滤器的重量（g）：1.05
输出
在<1 mPa（V/W）的真空中：待定
在100 kPa（V/W）的空气中：42
在10 MPa（V/W）的空气中：待定
在氦气中，100 kPa（V/W）：待定
在氦气中，10 MPa（V/W）：待定

XEN-3920传感器时间常数
空气中（ms）：9
真空中（ms）：36

短期稳定性，1天（ppm）：1
长期，1年（ppm）：300
热阻
膜（kK/W）：100
膜+空气（kK/W）：23
Max.加热电压
空气中（V）：2.5
真空（V）：1

下一篇： Xensor公司MEMS气体传感器
上一篇： TCS208F热导气体传感器