Xensor Integration有哪些产品？

Xensor Integration有哪些产品？

Xensor Integration‌ 是一家总部位于荷兰的老牌MEMS传感器高科技企业，深耕热导式气体传感器与微纳量热计领域数十年，是全球氢能监测、高精度真空测量和快速量热细分领域的主要供应商。Xensor Integration‌成立于‌1988年‌，源自代尔夫特理工大学的技术团队，由几名刚毕业的技术人员从零起步创业，至今已有近40年MEMS传感器研发历史。XENSOR早期曾涉足微型气相色谱注射器、航天卫星姿态红外传感阵列、医疗氧气传感器等前沿项目，经过多年业务聚焦，*终将核心能力锁定在‌热导率气体传感器芯片‌与‌微纳量热计‌两大方向，形成了独特的技术壁垒。XENSOR公司拥有从芯片设计、流片制造到封装测试的全链条自研能力，既提供标准化产品线，也支持根据客户需求定制产品的功能参数、物理形态与性能指标。

Xensor Integration的产品主要分为三大类，全部基于自研的MEMS氮化硅薄膜工艺，在特定领域拥有突出的技术优势：
1、热导式气体敏感元件/热导氢气敏感元件

核心型号为‌XEN-3880‌（或XEN-TCG3880‌）和‌XEN-3920‌，采用超薄氮化硅悬浮膜结构，将微机械加热元件与热电堆传感单元集成在硅框架上，工作温度范围覆盖‌-250℃至150℃‌，几乎可以忽略气流对测量结果的干扰。XEN-3880为单膜设计，XEN-3920为双膜设计，均支持集成Pt100/Pt1000温度元件，可实现高精度温度补偿。XEN-3880‌（或XEN-TCG3880‌)既可以精准区分二元或准二元混合气体的热导率差异，完成氢气、氦气、甲烷等气体的浓度分析，也能作为皮拉尼真空计核心元件实现宽范围真空度检测。

2、热导气体传感器/热导氢气传感器/热导氦气传感器

型号为‌XEN-5320‌在敏感元件基础上集成了自研ASIC处理芯片与温湿度补偿单元，无需额外恒温控制即可实现长期稳定的气体成分分析。
衍生出多个细分版本：适配多测点布线的CAN总线版、适配实验室评估的USB版、适配高压工况的耐压版，部分型号还支持ATEX防爆认证。
配套提供LabView读写编程工具，通过USB、CAN总线或模拟量即可完成数据读取，全系列产品均符合RoHS规范，拥有CE与FCC认证。

XEN-5320-ALU-CAN /  XEN-5320-ALU-USB：常规环境，CAN 适合多点布线，USB 适合实验室。
XEN-5320-HP-CAN ：耐高压版本，G3/8 螺纹安装，适合高压管道。

分为两大技术路线：基于较厚单晶硅膜的坚固型产品（如XEN-LCM2506），适合液体和慢速测量场景；基于1μm超薄氮化硅膜的高速型产品（如XEN-39397），隔热性能优异，支持超高速扫描量热。这类量热计芯片做超快热分析，样品直接放在超薄氮化硅膜上，能实现*高 1 MK/s 的加热/冷却速率。其量热计技术被梅特勒-托利多选中，用于**Flash DSC快速差示扫描量热仪，成为实验室热分析领域的标杆级方案。

XEN-393 / XEN-394微纳量热计芯片
- XEN-393 系列：铝互连，温度范围稍低，适合常规测量。
- XEN-394 系列：金互连，能支撑更宽的高温场景。
- 常见型号有 XEN-39390、XEN-39391、XEN-39392、XEN-39397 等，区别主要在样品区尺寸（从 30×30 μm 到 1000×1000 μm 不等）。
主要用途：快速扫描量热法（FSC）、聚合物结晶动力学、**热稳定性分析、含能材料热行为研究。它也是梅特勒-托利多 Flash DSC 差示扫描量热仪的核心传感部件。