荷兰Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394量热计芯片
-快速扫描量热计传感器
荷兰Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量热计传感器芯片，设计用于高温扫描率下的小样本测量。XEN-393系列采用铝线电极互连，这限制了它们的温度范围低于XEN-394系列，后者采用金线电极互连。 该量热计传感器采用单面超薄氮化硅薄膜，具有对环境热阻高、时间常数小等特点。这使得这些传感器特别适用于气体介质环境中的测量和快速测量，如快速扫描量热法。
XEN-39390 单膜，2x 4线加热器，热点面积30x30μm ，TO-5封装
XEN-39391 单膜，2x 4线加热器，热点面积60x60μm ，TO-5封装
XEN-39392 单膜，2x 4线加热器，热点面积100x100μm ，TO-5封装
XEN-39395 单膜，4线加热器，热点面积60x70μm ，TO-5封装
XEN-39397 单膜，4线加热器，热点面积1000x1000μm ，TO-5封装
XEN-39398 单膜，2x 4线加热器，热点面积250x250μm ，TO-5封装
XEN-39399 单膜，2x 4线加热器，多热点面积100x100μm ，TO-5封装
XEN-39471b 双膜，4线加热器，热点面积8x10μm ，TO-5封装
XEN-39472b 双膜，4线加热器，热点面积6x6μm ，TO-5封装
XEN-39473b 双膜，4线加热器，热点面积6x6μm，金沟槽，TO-5封装
XEN-39478 符合XEN-39392，双膜 ，TO-5封装