MEMS快速响应氢气传感器

产品名称：MEMS快速响应氢气传感器
产品型号：TCD-H2
产品厂商：Delta Tech
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简单介绍

MEMS快速响应氢气传感器特点： 1、无需加热恒温 2、功耗低，约100mW 3、快速响应，约1秒 4、湿度补偿 5、外形尺寸小

MEMS快速响应氢气传感器

的详细介绍

MEMS快速响应氢气传感器

黛尔特（北京）科技有限公司的MEMS热导式传感器工作原理：热导率传感器通过测量气体或液体的导热能力来工作。当向材料施加热量时，其散热速率受到其导热性的影响。在典型的热导率传感器中，两个温度传感器（通常是热电偶或电阻温度传感器）以已知距离放置。加热器产生已知量的热量，并测量两个传感器之间的温差。然后，可以根据热流和温差计算导热系数。热导率气体传感器敏感芯片测量膜中心热电堆热结和芯片厚边缘冷结之间的热阻。这是通过使用电阻器加热器Rheat加热膜的中心来实现的。由此产生的中心温度升高由热电堆温度传感器测量。实际温度升高取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这受到膜热阻、环境气体热阻、任何存在的气体流量和（通常可以忽略不计）发射辐射等因素的影响。

MEMS热导率传感器测量温度有几种类型，包括：

电阻温度传感器：这些传感器利用材料的电阻变化来确定温度。
热电堆传温度感器：这些传感器由多个串联的热电偶组成，提供更高的输出电压和灵敏度。

黛尔特（北京）科技有限公司的TCD-5880-P2RW气体传感器敏感元件为了测量时准确补偿环境温度变化，可以在热导率传感器芯片旁边安放一个2x2 mm的PT100铂电阻温度传感器。这允许根据温度DIN B等级准确测量传感器芯片的温度。标准为100欧姆电阻器（0ºC时为100欧姆，灵敏度为0.39%/ºC），可选为0ºC下为100欧姆的Pt100。所谓的"Roof硅盖"是粘在薄膜热点上的硅散热器，在距离薄膜100μm处形成散热器（见图4.5）。“硅盖”有两个应用。首先，热导率传感器周围的任何气流都被硅盖阻挡，无法到达热膜，因此传感器的对流量灵敏度大大降低。因此，在有流量的情况下进行测量时，硅盖选项很有趣。其次，附近的散热器将传感器可以测量的上部真空压力增加了大约3倍。因此，当将热导率传感器用作真空计传感器时，硅盖选项也可能引起人们的兴趣。