XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件

Xensor Integration是一家高科技公司，专注于使用计算机芯片技术制造MEMS传感器（微机电系统）的定制设计、原型设计和生产。Xensor拥有一系列现成的标准MEMS热导率气体敏感元件和气体传感器。经典的XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件和XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。XEN-5320使用经验证的热导率传感器敏感元件XEN-3880，该气体传感器基于环境气体的热导率测量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320应用包括皮拉尼真空计、气体扩散率的检测以及氢气等二元气体成分的含量测量。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件测量流经其表面周围气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用于测量真空系统中的压力。热导率敏感元件芯片由具有氮化硅膜（SiN）的硅框架组成，其中心是一个加热器，由一个热电堆传感器阵列测量其温度，敏感芯片测量环境气体和膜中心之间的热导率。薄膜顶部的硅盖（Roof）和带过滤器金属筛网的焊接盖（W）抑制了气流流量敏感性。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件特征
•二元和准二元混合物中气体的长期稳定分析
•高灵敏度和分辨率
•工作温度：-250°C至150°C
•湿度：0至95%RH，无冷凝
•使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件进行温度测量
•流量灵敏度可忽略不计
•环境温度22°C和1 V电源

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件区别：

1、XEN-3880-P2RW和XEN-3880-3RW热导敏感元件：

1.1、XEN-3880敏感元件，带硅盖（Roof），单膜，PT100或PT1000温度元件，带5um金层的10针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽
1.2、XEN-3880-RW：XEN-3880传感器元件，带硅盖（Roof），单膜，带+/-0.8 um金层的6针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽
2、XEN-3920-P2RW和XEN-3920-P3RW热导率敏感元件：
2.1、XEN-3920感应元件，带硅盖（Roof），双膜，PT100或PT1000温度元件，带5um金层的10针TO-5插针，带金属筛网的金属管帽

Xensor公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件典型应用
•氢气、氦气和天然气含量测量
•用氦气测试氢气系统
•包装和真空系统中的真空测量
•气体浓度测量
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件工作原理
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件通过使用加热器电阻器加热膜的中心来实现对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量。由此产生的中心的温度升高通过热电堆温度传感器阵列来测量。热导率气体敏感元件实际温度升高取决于膜中心和环境气体之间的有效热阻，这些受到环境气体热阻的影响。