XEN-393量热计传感器

产品名称：XEN-393量热计传感器
产品型号：XEN-39391-XEN-39392-XEN-39395-XEN-39397-XEN-39398
产品厂商：Xensor Integration
产品文档： Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394量热计芯片

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简单介绍

荷兰Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量热计传感器芯片，设计用于高温扫描率下的小样本测量。XEN-393系列采用铝电极互连，这限制了它们的温度范围低于XEN-394系列，后者采用金电极互连。该量热计传感器采用单面超薄氮化硅薄膜，具有对环境热阻高、时间常数小等特点。这使得这些传感器特别适用于气体介质环境中的测量和快速测量，如快速扫描量热法。

XEN-393量热计传感器

的详细介绍

荷兰Xensor Integration公司XEN-393量热计传感器

-快速扫描量热计传感器芯片

荷兰Xensor Integration公司XEN-393量热计传感器特征

加热和冷却速率高达1 MK/s
样品温度范围宽，从-273°C到+500°C

荷兰Xensor Integration公司XEN-393量热计传感器特征工作原理

量热计芯片由一个薄膜组成，它悬浮在一个厚的硅基框架中。集成加热器加热膜的中部区域分布：传感器芯片的样品区，热电堆测量样品区的温度。通过这种方式，被测样品可经受预定温度分布，以便观察样品随温度变化的行为。

Xensor Integration公司XEN-393量热计传感器技术参数比较

XEN-39390：这是一个较小尺寸的样品面积量热计芯片，样品面积约为30x30μm，具有两个4线加热器（偏置和保护加热器）内的6对热电堆。
XEN-39391和XEN-39395：这是一种中等尺寸的样品面积量热计芯片，热点面积约为60x60μm和60x70μm，具有两个4线加热器内的6对热电堆。
XEN-39392和XEN-39399 ：这些是较大尺寸的样品面积量热计芯片，样品面积约为100x100μm，具有两个4线加热器内的6对热电堆。XEN-39399具有多晶硅覆盖的样品区域，以改善温度均匀性。
XEN-39397和XEN-39398 ：这些是Max尺寸的样品面积量热计芯片。XEN-39398具有双4线加热器，样品面积约为250x250μm，在两个4线加热器内具有6对热电堆。样品区域被多晶硅覆盖以改善温度均匀性。XEN-39397有一个单4线加热器和一个20对热电堆，样品面积为1000x1000μm，铝覆盖以改善温度均匀性。

Xensor Integration公司XEN-393量热计传感器芯片典型技术参数

环境温度22℃，空气，1013 mbar

XEN-39395 XEN-39390 XEN-39391 XEN-39392 XEN-39399 XEN-39398

一般参数
输出（V/W） 75 55 46 40 23 23
时间常数（ms） 0.7 0.9 1.6 2 3.4 17

噪声等效功率（μW） 2 2 2 2 2 2

加热速率（MK/s） 1.5 1 0.5 0.5 0.5 0.1

膜+气体（kK/W）              38                 28                      29               20                      11                3.3
附录（nJ/K）                 17                  31                      54            100                     300              5100
尺寸
芯片尺寸（mm²） 3.3x2.5        3.3x2.5              3.3x2.5           3.3x2.5        3.3x2.5      5.0x3.3
膜尺寸（mm²）              0.9x0.9          0.9x0.9 0.9x0.9    0.9x0.9            0.9x0.9           2.4x2.0
膜厚（μm） 1                     1                          1                  1                     1 1
样品面积（μm xμm）    60x70    86x86 116x116         156x156           296x246              1020x974

荷兰Xensor公司XEN-393量热计传感器芯片应用

研究聚合物、药物和爆炸材料的热诱导物理转变和化学过程，如结晶和重组。

荷兰Xensor公司XEN-393量热计传感器芯片封装外形

LCC-20nn封装形式 TO-5封装形式 XEN-40014封装形式