Model 730高精度真空计

Setra公司Model 730高精度真空计

Model 730真空计使用Setra获**的可变电容传感器作为压力感应元件，精度极高。位于中央的馈通组件支撑着与膜片后表面紧密相邻的圆形电极。电极与膜片共同构成小型基准真空室的可变电容器。当压力提高时，膜片变形，使得与电极间的距离减小，造成电容升高。该电容变化会被Setra的高频精密二极管桥式电路检测到，并转化为高度准确的线性直流信号。
Setra公司Model 730高精度真空计采用获**的传感器，拥有出色的零点稳定性，且对气压极不敏感。其传感器无任何常见于陶瓷电容式压力计的脆弱或复杂部件。此外，产品采用全焊接结构，不会像其他竞争产品一样存在不同材料间摩擦引起的内在不稳定性问题。

Setra公司Model 730高精度真空计是一种温度补偿型的**压力传感器，专为准确、可重复的真空测量而设计。它可选从10 Torr到1000 Torr的多种满量程范围，测量单位包括Torr (mmHg)、mBar、kPa和PSIA。Model 730真空计的电源范围为12-30 VDC，可提供与压力成正比的0-10 VDC信号输出（与气体成分无关）。此外，也可使用9-30 VDC电源，提供0-5 VDC输出。Model 730真空计金属外壳以及 ESD抑制组件以及输入输出RFI滤波功能结合，可实现**的EMI/R-FI性能。Model 730可以轻松使用多圈电位计进行零点微调。所有接液材料均使用Inconel，兼容腐蚀性气体。可选类型众多的过程连接件。
Setra公司Model 730高精度真空计是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。Moldel 730型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能准确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。

Setra公司Model 730高精度真空计技术规格
性能数据：
精度1± 0.5%读数，可选± 0.25%读数
分辨率：无限制。仅受输出噪声水平影响(≤0.005% FS)
温度影响：
补偿范围：0到+50°C
零点漂移：< ± 0.25% FS/50 °C
量程漂移：< ± 1.35% Rdg/50°C
长期稳定性：±0.5% FS/年（不考虑环境影响）
耐压：45 psia
环境数据：
工作温度：0到+80°C
储存温度：-20到+85°C
电气数据（电压）：
连接器：6”芯线缆上的9针D-Sub、15针D-sub或5针端子排
激励/输出：0至10 VDC输出时为12至30 VDC；0至5 VDC输出时为9至30 VDC
输出负载： >10 K负载
功耗： < 200 mW
时间常数： < 20 ms
EMC性能： 符合EMC指令2004/108EC
物理数据：
外壳： 不锈钢
真空接头： 0.25”或0.5”外径管；也可提供其他接头；
请参见技术手册
接液材料2： Inconel®
测量室体积3： <6.0 cc
重量（近似值）： <250 g
合规：符合EU RoHS规范，CE

适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。

Setra公司Model 730高精度真空计Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有非常高的耐受性。
Inconel®材料结合全焊接结构， 确保Model 730型在这类应用中的长使用寿命。

Setra公司Model 730高精度真空计直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同，MODEL 730型测量直接压力， 不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。

Setra公司Model 730高精度真空计应用
·半导体处理室
·石化
·等离子体**器
·真空包装